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单晶硅生长用石英坩埚 (JC/T 1048-2007)

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单晶硅生长用石英坩埚 (JC/T 1048-2007)

标准号JC/T 1048-2007状态

发布于:2007-05-29

实施于:2007-11-01

单晶硅生长用石英坩埚

标准号:JC/T 1048-2007

中国标准分类号:M33

国际标准分类号:33.180.10

批准发布部门:国家发展和改革委员会

行业分类:无

张浩运、吴洁 等

中国建筑材料科学研究总院、中国建筑材料检验认证中心

本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、储存、运输。 本标准适用于用高纯石英做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。

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