标准号YS/T 983-2014状态
发布于：2014-10-14
实施于：2015-04-01
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
标准号：YS/T 983-2014
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
敖细平、王波 等
四川新光硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司等
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。 本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。