标准号YS/T 980-2014状态
发布于：2014-10-14
实施于：2015-04-01
高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准号：YS/T 980-2014
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.04.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
刘爱华、孙平 等
峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等
本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。 本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为1×10-6%～4×10-5%。