标准号SJ/T 11498-2015状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
标准号：SJ/T 11498-2015
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
何友琴、马农农、何秀坤 等
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对重掺硅衬底单晶体中氧浓度总量的测试方法。 本标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度＜0.2％（1×10∧20at·cm-3）的硅材料。特别适用于电阻率在0.0012Ω·cm～1.0Ω·cm的p型硅材料和电阻率在0.008Ω·cm～0.2·cm的n型硅材料。