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溅射用钽靶材 (YS/T 1024-2015)

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溅射用钽靶材 (YS/T 1024-2015)

标准号YS/T 1024-2015状态

发布于:2015-04-30

实施于:2015-10-01

溅射用钽靶材

标准号:YS/T 1024-2015

中国标准分类号:H63

国际标准分类号:77.150.99

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

钟景明、李桂鹏、汪凯等

宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等

本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)

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