标准号YS/T 14-2015状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
标准号：YS/T 14-2015
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
马林宝、杨帆、葛华等
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
标准号：YS/T 14-2015
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
马林宝、杨帆、葛华等
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
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