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异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 (YS/T 14-2015)

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异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 (YS/T 14-2015)

标准号YS/T 14-2015状态

发布于:2015-04-30

实施于:2015-10-01

异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准号:YS/T 14-2015

中国标准分类号:H21

国际标准分类号:77.040

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

马林宝、杨帆、葛华等

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm~100μm。

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