标准号YS/T 1068-2015状态
发布于:2015-04-30
实施于:2015-10-01
制备钌靶用钌粉
标准号:YS/T 1068-2015
中国标准分类号:H68
国际标准分类号:77.150.99
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
谭志龙、郭俊梅、熊晓东等
贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
发布于:2015-04-30
实施于:2015-10-01
标准号:YS/T 1068-2015
中国标准分类号:H68
国际标准分类号:77.150.99
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
谭志龙、郭俊梅、熊晓东等
贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
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