标准号SJ/T 31080-2016状态
发布于：2016-01-15
实施于：2016-06-01
光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31080-2016
中国标准分类号：L01
国际标准分类号：31.550
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
张倩、石少青、辛士卓 等
中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。
本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器(如3600型、EM250型等)可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。