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真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 (SJ/T 31083-2016)

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真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 (SJ/T 31083-2016)

标准号SJ/T 31083-2016状态

发布于:2016-01-15

实施于:2016-06-01

真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

标准号:SJ/T 31083-2016

中国标准分类号:L01

国际标准分类号:31.550

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

彭海涛、杨红伟、家秀云 等

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。 本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备,其他型号真空镀膜设备可参照执行。

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