标准号SJ/T 31083-2016状态
发布于：2016-01-15
实施于：2016-06-01
真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31083-2016
中国标准分类号：L01
国际标准分类号：31.550
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
彭海涛、杨红伟、家秀云 等
中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。 本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。