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磁性溅射靶材透磁率测试方法 (YS/T 1124-2016)

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磁性溅射靶材透磁率测试方法 (YS/T 1124-2016)

标准号YS/T 1124-2016状态

发布于:2016-07-11

实施于:2017-01-01

磁性溅射靶材透磁率测试方法

标准号:YS/T 1124-2016

中国标准分类号:H21

国际标准分类号:77.120.99

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

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