标准号SJ/T 11707-2018状态
发布于：2018-02-09
实施于：2018-04-01
硅通孔几何测量术语
标准号：SJ/T 11707-2018
中国标准分类号：L30
国际标准分类号：31.020
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：信息传输、软件和信息技术服务业
侯芳、郁元卫、吴昊 等
中国电子科技集团公司第五十五研究所、天水华天科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十八研究所
本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。
本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。
玻璃通孔尺寸的几何测量也可以参考本标准。