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钪铝合金靶材 (XB/T 515-2020)

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钪铝合金靶材 (XB/T 515-2020)

标准号XB/T 515-2020状态

发布于:2020-12-09

实施于:2021-04-01

钪铝合金靶材

标准号:XB/T 515-2020

中国标准分类号:None

国际标准分类号:None

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。

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