标准号YS/T 1392-2020状态
发布于：2020-12-09
实施于：2021-04-01
氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
标准号：YS/T 1392-2020
中国标准分类号：None
国际标准分类号：None
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
发布于：2020-12-09
实施于：2021-04-01
标准号：YS/T 1392-2020
中国标准分类号：None
国际标准分类号：None
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
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