标准号GB/T 37959-2019状态
发布于：2019-08-30
实施于：2020-03-01
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型基本信息
标准号：GB/T 37959-2019
中国标准分类号：J07
国际标准分类号： 35.240.50 35 信息技术、办公机械 35.240 信息技术应用 35.240.50 信息技术在工业中的应用
归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会
主管部门：中国机械工业联合会
国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口上报，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。