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含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 (GB/T 37959-2019)

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含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 (GB/T 37959-2019)

标准号GB/T 37959-2019状态

发布于:2019-08-30

实施于:2020-03-01

含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型基本信息

标准号:GB/T 37959-2019

中国标准分类号:J07

国际标准分类号: 35.240.50     35 信息技术、办公机械 35.240 信息技术应用 35.240.50 信息技术在工业中的应用

归口单位:全国自动化系统与集成标准化技术委员会

执行单位:全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会

主管部门:中国机械工业联合会

国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159(全国自动化系统与集成标准化技术委员会)归口上报,TC159SC5(全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会。

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