标准号GB/T 37466-2019状态
发布于：2019-06-04
实施于：2019-10-01
氮化镓激光剥离设备基本信息
标准号：GB/T 37466-2019
中国标准分类号：L95
国际标准分类号： 31-550 31 电子学 31.550 电子产品生产设备
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。