标准号GB/T 19921-2018状态
发布于：2018-12-28
实施于：2019-07-01
硅抛光片表面颗粒测试方法基本信息
标准号：GB/T 19921-2018
全部代替标准：GB/T 19921-2005
中国标准分类号：H21
国际标准分类号： 77.040 77 冶金 77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。