标准号GB/T 37049-2018状态
发布于：2018-12-28
实施于：2019-04-01
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法基本信息
标准号：GB/T 37049-2018
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040.30 77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.30 金属材料化学分析
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。