标准号GB/T 36646-2018状态
发布于:2018-09-17
实施于:2019-01-01
制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备基本信息
标准号:GB/T 36646-2018
中国标准分类号:L95
国际标准分类号: 31.220 31 电子学 31.220 电子电信设备用机电元件
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。