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X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 (GB/T 36053-2018)

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X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度  仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 (GB/T 36053-2018)

标准号GB/T 36053-2018状态

发布于:2018-03-15

实施于:2019-02-01

X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告基本信息

标准号:GB/T 36053-2018

中国标准分类号:G04

国际标准分类号: 71.040.40     71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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