标准号GB/T 13388-2009状态
发布于:2009-10-30
实施于:2010-06-01
硅片参考面结晶学取向X射线测试方法基本信息
标准号:GB/T 13388-2009
全部代替标准:GB/T 13388-1992
中国标准分类号:H80
国际标准分类号: 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅片参考面结晶学取向X射线测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。