标准号GB/T 13843-1992状态
发布于:1992-12-28
实施于:1993-08-01
标准状态:废止
蓝宝石单晶抛光衬底片基本信息
标准号:GB/T 13843-1992
废止日期:2017-12-15
中国标准分类号:L90
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《蓝宝石单晶抛光衬底片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。