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玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法 (GB/T 33826-2017)

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玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法 (GB/T 33826-2017)

标准号GB/T 33826-2017状态

发布于:2017-05-31

实施于:2017-12-01

玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法基本信息

标准号:GB/T 33826-2017

中国标准分类号:Q34

国际标准分类号: 71.040.99     71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.99 有关分析化学的其他标准

归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会

主管部门:中国科学院

国家标准《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报,TC279SC1(全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会)执行,主管部门为中国科学院。

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