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氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法 (GB/T 32282-2015)

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氮化镓单晶位错密度的测量  阴极荧光显微镜法 (GB/T 32282-2015)

标准号GB/T 32282-2015状态

发布于:2015-12-10

实施于:2016-11-01

氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法基本信息

标准号:GB/T 32282-2015

中国标准分类号:H21

国际标准分类号: 77.040     77 冶金 77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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