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俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 (GB/T 31470-2015)

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俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 (GB/T 31470-2015)

标准号GB/T 31470-2015状态

发布于:2015-05-15

实施于:2016-01-01

俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则基本信息

标准号:GB/T 31470-2015

中国标准分类号:N26

国际标准分类号: 17.220.20     17 计量学和测量、物理现象 17.220 电学、磁学、电和磁的测量 17.220.20 电和磁量值的测量

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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