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Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法 (GB/T 30653-2014)

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Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法 (GB/T 30653-2014)

标准号GB/T 30653-2014状态

发布于:2014-12-31

实施于:2015-09-01

Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法基本信息

标准号:GB/T 30653-2014

中国标准分类号:H21

国际标准分类号: 77.040.20     77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.20 金属材料无损检测

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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