标准号GB/T 13389-2014状态
发布于：2014-12-31
实施于：2015-09-01
掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程基本信息
标准号：GB/T 13389-2014
全部代替标准：GB/T 13389-1992
中国标准分类号：H80
国际标准分类号： 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。