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多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法 (GB/T 24582-2023)

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多晶硅表面金属杂质含量测定  酸浸取-电感耦合等离子体质谱法 (GB/T 24582-2023)

标准号GB/T 24582-2023状态

发布于:2023-08-06

实施于:2024-03-01

多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法基本信息

标准号:GB/T 24582-2023

全部代替标准:GB/T 24582-2009

标准类别:方法

中国标准分类号:H17

国际标准分类号: 77.040 77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 亚洲硅业(青海)股份有限公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、青海芯测科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司。

主要起草人 尹东林 、郑连基 、刘军 、魏东亮 、蔡延国 、李素青 、侯海波 、田洪先 、刘文明 、薛心禄 、王彬 、于生海 、徐岩 、曹岩德 、姜士兵 、邱艳梅 、赵培芝 、万首正 、赵娟龙 、申梅桂 、刘海月 、王春明 。

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