标准号GB/T 31225-2014状态
发布于：2014-09-30
实施于：2015-04-15
椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法基本信息
标准号：GB/T 31225-2014
中国标准分类号：J04
国际标准分类号： 17.040.01 17 计量学和测量、物理现象 17.040 长度和角度测量 17.040.01 长度和角度测量综合
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
国家标准《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。