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用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 (GB/T 29844-2013)

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用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 (GB/T 29844-2013)

标准号GB/T 29844-2013状态

发布于:2013-11-12

实施于:2014-04-15

用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范基本信息

标准号:GB/T 29844-2013

中国标准分类号:L90

国际标准分类号: 31.030     31 电子学 31.030 电子技术专用材料

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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