标准号GB/T 29844-2013状态
发布于：2013-11-12
实施于：2014-04-15
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范基本信息
标准号：GB/T 29844-2013
中国标准分类号：L90
国际标准分类号： 31.030 31 电子学 31.030 电子技术专用材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。