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半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 (GB/T 41853-2022)

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半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 (GB/T 41853-2022)

标准号GB/T 41853-2022状态

发布于:2022-10-12

实施于:2022-10-12

半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量基本信息

标准号:GB/T 41853-2022

标准类别:方法

中国标准分类号:L55

国际标准分类号: 31.080.99 31 电子学,31.080 半导体分立器件,31.080.99 其他半导体分立器件

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所、河北美泰电子科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、华东光电集成器件研究所、杭州左蓝微电子技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司。

主要起草人 李倩 、王伟强 、顾枫 、李根梓 、翟晓飞 、何凯旋 、田松杰 、刘建生 、崔波 、武斌 、汪蔚 、高峰 、王冲 。

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