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真空镀膜设备通用技术条件 (GB/T 11164-2011)

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真空镀膜设备通用技术条件 (GB/T 11164-2011)

标准号GB/T 11164-2011状态

发布于:2011-11-21

实施于:2012-03-01

真空镀膜设备通用技术条件基本信息

标准号:GB/T 11164-2011

全部代替标准:GB/T 11164-1999

中国标准分类号:J78

国际标准分类号: 23.160     23 流体系统和通用件 23.160 真空技术

归口单位:全国真空技术标准化技术委员会

执行单位:全国真空技术标准化技术委员会

主管部门:中国机械工业联合会

国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。

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