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利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 (GB/T 27760-2011)

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利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 (GB/T 27760-2011)

标准号GB/T 27760-2011状态

发布于:2011-12-30

实施于:2012-05-01

利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法基本信息

标准号:GB/T 27760-2011

中国标准分类号:N04

国际标准分类号: 19.020     19 试验 19.020 试验条件和规程综合

归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门:中国科学院

国家标准《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

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