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确定晶片坐标系规范 (GB/T 16596-1996)

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确定晶片坐标系规范 (GB/T 16596-1996)

标准号GB/T 16596-1996状态

发布于:1996-11-04

实施于:1997-04-01

标准状态:被代替

确定晶片坐标系规范基本信息

标准号:GB/T 16596-1996

被代替日期:2020-02-01

中国标准分类号:H21

国际标准分类号: 29.045     29 电气工程 29.045 半导体材料

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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