标准号GB/T 15615-1995状态
发布于:1995-07-12
实施于:1996-02-01
标准状态:废止
硅片抗弯强度测试方法基本信息
标准号:GB/T 15615-1995
废止日期:2004-10-14
中国标准分类号:H23
国际标准分类号: 77.040.01 77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.01 金属材料试验综合
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅片抗弯强度测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。