标准号GB/T 16878-1997状态
发布于：1997-06-20
实施于：1998-03-01
用于集成电路制造技术的检测图形单元规范基本信息
标准号：GB/T 16878-1997
中国标准分类号：L97
国际标准分类号： 31.200 31 电子学 31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。