标准号GB/T 11297.6-1989状态
发布于:1989-03-31
实施于:1990-01-01
锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法基本信息
标准号:GB/T 11297.6-1989
中国标准分类号:L32
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。