标准号GB/T 14847-1993状态
发布于：1993-12-30
实施于：1994-09-01
标准状态：被代替
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法基本信息
标准号：GB/T 14847-1993
被代替日期：2011-10-01
中国标准分类号：H21
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。