标准号GB/T 21287-2021状态
发布于：2021-10-11
实施于：2022-05-01
电子特气 三氟化氮基本信息
标准号：GB/T 21287-2021
全部代替标准：GB/T 21287-2007
中国标准分类号：G86
国际标准分类号： 71.100.20 71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子特气 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。