标准号GB/T 40566-2021状态
发布于：2021-10-11
实施于：2022-05-01
流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法基本信息
标准号：GB/T 40566-2021
中国标准分类号：H82
国际标准分类号： 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。