标准号GB/T 14139-1993状态
发布于：1993-02-06
实施于：1993-10-01
标准状态：废止
硅外延片基本信息
标准号：GB/T 14139-1993
废止日期：2010-06-01
中国标准分类号：H81
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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