标准号GB/T 19922-2005状态
发布于:2005-09-19
实施于:2006-04-01
硅片局部平整度非接触式标准测试方法基本信息
标准号:GB/T 19922-2005
中国标准分类号:H17
国际标准分类号: 77.040.01 77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.01 金属材料试验综合
归口单位:工业和信息化部(电子)
执行单位:工业和信息化部(电子)
主管部门:工业和信息化部(电子)
国家标准《硅片局部平整度非接触式标准测试方法》由339-1(工业和信息化部(电子))归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。