标准号DB44/T 1527-2015状态
发布于：2015-01-30
实施于：2015-04-30
状态：现行
微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法基本信息
标准号：DB44/T 1527-2015
制修订：制定
中国标准分类号：N53
国际标准分类号：71.040.01
技术归口：广东省质量技术监督局
批准发布部门：广东省质量技术监督局
行业分类：信息传输、软件和信息技术服务业
标准类别：方法标准
本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。