静电除尘技术的原理就是烟尘气体经过高压静电场时被电分离，尘粒与负离子结合带上负电后，趋向阳极表面放电而沉积。利用静电场使气体电离从而使尘粒带电吸附到电极上的收尘方法。在强电场中空气分子被电离为正离子和电子，电子奔向正极过程中遇到尘粒，使尘粒带负电吸附到正极被收集。
相比较静电除尘技术，微静电除尘技术能更有效捕集高比电阻的微小粉尘，此外，也更省电。
静电除尘技术最早出现在1824年的一次静电除尘实验中。在工业文明不断扩展的同时，也带来了盘踞整个时代的工业污染，1907年，静电收集硫酸雾的实验成功后，静电除尘技术开始被应用在工业烟尘污染处理中。当第一台静电除尘器在DETREIT EDISON公司出现后，标志着静电除尘技术从实验理论，正式成为实用科技。
此后，静电除尘技术常在冶金、化学等工业中用以净化气体或回收有用尘粒，广泛应用于燃煤电厂、水泥工业、矿业冶金等工业领域，将排放的工业废气中的煤灰和粉尘吸附，也能用于收集其中的锡、锌、铅、铝等氧化物。
随着静电除尘在工业领域中的应用越发成熟，演变成现在的微静电除尘技术，可以更加有效地去除家居生活中的粉尘和菌落等，很多家居空气净化产品在过滤系统中加上了微静电除尘组，用以实现更纯净的过滤效果。
静电除尘式的家用空气净化器，在1935年即被设计出来，具备0维护、0耗材、高效率的优点。但在实际使用中，静电除尘技术将带来一个健康隐患，高压静电电解氧离子产生负离子时，会产生一部分臭氧。
臭氧的气味正如其名，气味不好闻，虽然带氧字，但对人体没有好处。一定浓度的臭氧有杀菌的功能，同时也会杀死人体内的白细胞，如果长期处于高浓度的臭氧环境内，更有可能会导致癌变。
传统的静电除尘技术会产生臭氧的原因，主要是在两个平行的高压平板放电间隙，金属板之间难免出现毛刺，会产生放电、闪火或者拉弧等现象，空气中的氧分子获取电子的能量，互相弹性碰撞，最终聚合生成臭氧。
微静电除尘技术则是在发电模块上用高分子纳米绝缘材料包裹，大大降低了空气中氧分子被电离的风险，有效避免臭氧。
比如托马仕空品研发的纳米静电除尘组，将纳米材料模块与微静电除尘技术结合，可有效阻止空气中的氧气被电离，使整个过滤过程无臭氧释放， 确保进入室内的空气洁净安全，还能够高效过滤和杀灭细达0.1微米颗粒浮尘和致病菌（包括PM2.5、H7N9、大肠杆菌等有害病菌）。
可以说，微静电技术在解决了臭氧问题后，其原有的优势将进一步放大，可以为家居生活提供更为纯净的空气环境。