1、主要技术内容
针对化工装置生产工艺所要求的无油、无水、无灰尘、无杂质的洁净度要求，对设备及管道清洗工作按照工厂化做法进行系统考虑，优化现场布置，规范清洗操作工艺，能够大降低施工成本，加快施工进度，更重要地能够处理二次污染问题。
施工现场工厂化清洗主要投入的资源有：硬化场地、蒸汽锅炉、热水泵、空气干燥机、清洗槽、洁净擦拭彩钢板房、小型水处理槽、无棉白布等，这些设备可循环使用。空气干燥机见图6.3-1，清洗槽见图6.3-2。
采用新型三合一清洗剂，主要使用循环清洗工艺、擦拭清洗工艺、浸泡清洗工艺进行清洗。循环清洗工艺应用于塔类设备、换热器类设备、管板式换热器的壳程以及U型管换热器的管程，擦拭清洗工艺应用于罐类设备、管板式换热器的管程，浸泡清洗工艺应用于泵类设备，不同类型设备进入相应清洗流程。清洗现场见图6.3-3。
将需要清洗的设备表面与清洗液充分接触（循环、浸泡、擦拭），达到3个功效：
1）需要清洗的设备表面亲油性污垢与清洗液发生乳化反应，使污垢失去粘着力；
2）清洗液中酸性物质与需要清洗设备表面氧化物发生反应，使氧化物变成可溶物质；
3）清洗液中缓蚀物质防止被清洗设备表面发生腐蚀，并降低清洗工作对环境的污染。
用纯水冲洗设备清洗表面，去除残留物。用干空气吹扫，进一步去除灰尘，并降低清洗好设备表面露点。对清洗合格设备充氮保护，使设备内部保持无氧化物产生，防止清洗好设备被二次污染。
2、技术指标
《工业设备化学清洗质量标准》HG/T2387、《脱脂工程施工及验收规范》HG20202。
3、适用范围
适用于多晶硅生产装置中的塔器、容器、反应器、换热器、还原炉以及泵类设备的清洗，并适用于对洁净有较高要求的其它类似领域的设备清洗。