标准号T/ICMTIA 1—2019状态
发布时间：2019年04月17日
实施时间：2019年10月10日
集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范基本信息
标准号：T/ICMTIA 1—2019
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。
中国标准分类号：C266 专用化学产品制造
国际标准分类号：71.100.20 工业气体
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：工业气体
标准名称：集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。