标准号T/IAWBS 005—2018状态
发布时间：2018年12月06日
实施时间：2018年12月17日
6 英寸碳化硅单晶抛光片基本信息
标准号：T/IAWBS 005—2018
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准适用于6英寸4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片。规定了6英寸4H及6H碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准规定了碳化硅抛光片的晶向为<0001>碳化硅抛光片表面取向的正交晶向偏离为：a)正晶向：0°±0.5°;b)偏晶向：碳化硅抛光片的晶向偏离为晶片表面法线沿主定位边方向偏向[1120]方向4°±0.5°或其它角度。同时本标准还规定了表面缺陷、微管密度、结晶质量、电阻率、多型、位错密度等内容。
中国标准分类号：C398 电子元件及电子专用材料制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：6 英寸碳化硅单晶抛光片
本标准规定了6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片。产品作为衬底材料主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件。