标准号T/ZJCX 0049-2024状态
发布日期：2024年12月24日
实施日期：2024年12月25日
碳化硅衬底激光剥离设备基本信息
标准编号：T/ZJCX 0049—2024
英文标题：Laser slicing equipment for SiC substrate
国际标准分类号：31-550
中国标准分类号：L 95
国民经济分类：C391 计算机制造
起草人：仇旻、刘东立、俞小英、朱佳凯、刘峰江、陈文轩、刘春俊、魏汝省、王明华、崔景光
起草单位：西湖仪器（杭州）技术有限公司、西湖大学、西湖大学光电研究院、北京天科合达半导体股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、浙江材孜科技有限公司、河北同光半导体股份有限公司
内容概括：本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和……