标准号T/ZSA 231-2024状态
发布日期：2024年05月15日
实施日期：2024年05月16日
氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法基本信息
标准编号：T/ZSA 231—2024
英文标题：Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
国际标准分类号：29.045
中国标准分类号：H21
国民经济分类：C389 其他电气机械及器材制造
起草人：李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋。
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司。
范围：本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
内容概括：本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛……