标准号T/IAWBS 021-2024状态
发布日期：2024年05月17日
实施日期：2024年05月24日
碳化硅晶片边缘轮廓检验方法基本信息
标准编号：T/IAWBS 021—2024
英文标题：Test methods for edge contour of silicon carbide wafers
国际标准分类号：29.020
中国标准分类号：H80/84
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
起草人：佘宗静、彭同华、王大军、刘祎晨、王波、赵宁、张平、杨建、郑红军、蔡丽艳
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、江苏天科合达半导体有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、山东有研半导体材料有限公司
内容概括：本文件规定了碳化硅晶片边缘轮廓（包含切口）的检测方法。本文件适用于检测倒角后碳化硅晶片的边缘轮廓（包含切口），其他材料晶片边缘轮廓的检测可参照本文件执行。……