标准号T/CI 334-2024状态
发布日期：2024年04月18日
实施日期：2024年04月18日
半导体设备隔振系统设计及技术要求基本信息
标准编号：T/CI 334—2024
英文标题：Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments
国际标准分类号：39.020
中国标准分类号：L56
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
起草人：陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀。
起草单位：上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司。
内容概括：本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的……